GR2 Titanium alvo

1. Definição e características do alvo de titânio

Os alvos de titânio são materiais especializados principalmente usados ​​na deposição física de vapor (PVD) e técnicas de pulverização de magnetron. Destes, a tecnologia de PVD é amplamente utilizada na produção de revestimentos avançados, enquanto a pulverização do magnetron é comumente usada na fabricação de chips semicondutores e componentes eletrônicos. Os alvos de titânio são fabricados finamente com ligas pura de titânio ou titânio como o componente principal. Seus benefícios exclusivos incluem dureza e densidade extremamente alta, além de excelente resistência à corrosão, o que o torna estável em uma variedade de ambientes. Além disso, os alvos de titânio têm boa condutividade térmica e alta pureza, proporcionando excelente desempenho para a tecnologia de filmes finos.

O Titanium Target é um material de laje de titânio ou liga de titânio de alta pureza, fabricado por fusão a vácuo - processo de fundição de investimentos. Suas características mais significativas são de alta pureza e excelente densificação. A densidade do alvo de titânio de alta qualidade pode atingir mais de 99,5%, e os elementos de impureza são muito baixos, como Fe, Si, O, N, H e outros elementos são inferiores a 100 ppm, o que torna o alvo de titânio nas propriedades físicas e as propriedades químicas é muito mais do que o titânio industrial comum.

Além disso, o alvo de titânio tem excelente homogeneidade. Durante o processo de preparação, tratamentos de fusão e extinção múltiplos são usados ​​para melhorar efetivamente a homogeneidade organizacional do alvo de titânio. A superfície do alvo é suave e limpa, e a organização interna é densa e de grão fino, o que garante a uniformidade da camada depositada. O alvo de titânio também possui excelente condutividade térmica e pequeno estresse térmico, para que não seja fácil produzir rachaduras, pode suportar o processo de alta potência da pulverização ou evaporação do arco. Além disso, a alta resistência mecânica dos alvos de titânio aumenta efetivamente sua vida útil e reduz as perdas -alvo, melhorando assim seu desempenho e valor gerais.

2. Processo de preparação do alvo de titânio

Seleção de matéria -prima:Como os alvos de titânio são usados ​​principalmente no processo de revestimento, é comum selecionar 99,99% de blocos de titânio puro como matéria -prima. Uma boa matéria -prima deve estar livre de defeitos óbvios de aparência, como oxidação, impurezas, rachaduras etc. para garantir que a matéria -prima seja de textura uniforme e alta pureza.

Fusão: No estágio de fusão, um forno de fusão de arco a vácuo é usado para aquecer a matéria -prima de titânio a mais de 1.668 graus Celsius (o ponto de fusão do titânio) para derreter completamente a matéria -prima. Para evitar a mistura de impurezas gasosas, todo o processo precisa ser realizado em um ambiente de alto vácuo. Algumas aplicações específicas podem exigir um guarda de gás (por exemplo, argônio) para proteger o alvo da oxidação.

Forjamento:

Nesse estágio, o titânio líquido é derramado em um molde para esfriar e solidificar e depois pressionado com força uniforme usando uma prensa hidráulica. Durante o processo de forjamento, muitas vezes há etapas de aquecimento e retenção, porque uma certa temperatura deve ser mantida para manter o material dúctil.

Desbaste:

Nesta fase, o alvo é usinado primeiro com a forma e tamanho aplicáveis. Isso pode incluir o uso de um torno CNC ou máquina de moagem CNC para cortar e moldar com precisão o alvo.

Tratamento térmico:

Na maioria dos casos, os alvos requerem tratamento térmico, como tratamento de solução ou recozimento, na faixa de 800-1000 grau por várias horas. O objetivo desses tratamentos é melhorar a microestrutura do material e aumentar sua força e resistência.

Acabamento de superfície:

Após o tratamento acima, o alvo precisa passar por acabamento superficial, como moagem e polimento. Em primeiro lugar, uma grande área é provavelmente moída com papel abrasivo e, em seguida, a grosidade do papel abrasivo é gradualmente reduzido para moagem fina.

Inspeção de qualidade:

Nesse estágio, os alvos de titânio estão sujeitos a uma série de verificações de qualidade, incluindo medições de UT (detecção de falhas ultrassônicas), exame de DRX (difração de raios-X) para confirmar a estrutura e a determinação da pureza química por análises de ICP-AES ou LECO, entre outros.

Boxe e envio:Finalmente, o alvo de titânio precisa ser encapsulado em um ambiente livre de poeira, geralmente usando embalagens a vácuo, para manter a pureza do produto. Eles são então colocados em caixas especialmente projetadas para proteger o produto contra danos durante o transporte.

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